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晶圆厚度丈量仪
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晶圆厚度丈量仪

晶圆厚度丈量仪

本设备对晶圆以及显示面板部门造程(如晶圆切片、研磨、减薄、划片等)之后的厚度丈量等?赏讲馐猿鲎柿献陨淼 TTV/BOW/WRAP/SORI等参数误差。

项目 机能指标
使用陶瓷盘尺寸 φ260/268/305/360mm,机械手自动高低料
设备丈量分辨率 0.005um
丈量沉复性 ≤0.5um
丈量精度 ≤1um(丈量对比精度受陶瓷盘及蜡层影响) 
丈量领域 0-1000um 
丈量点位数 1、3、5、9……N(点数可设置) 
丈量效能 最快18sec/p,5点采样 
丈量带宽 Max 10000Point/sec 
丈量材质 通明、非通明、光滑、粗糙样品,如 GaN、GaAS、Si、SiN、Sic等

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