1. 产品概述
晶圆校准器(Pre-Aligner)是一款专为半导体造作及检测设备设计的高精度预约位装置,合用于 4-12英寸(100~300mm)晶圆 的中心校准及平边(Flat)/缺口(Notch)定位,满足晶圆传送与搬运的高精度需要。
2. 重要特点
? 高精度预校准:支持晶圆中心、Notch/Flat及Mark标志的高精度定位
? 宽泛兼容性:适配SEMI尺度晶圆,可选配通明晶圆检测(中心无镂空)
? 非接触式定位:削减晶圆表表损感冒险
? 多模式检测:支持 传感器/视觉CCD/夹持 三种检测方式
? 读码职能:
3. 重要规格指标

4. 设备配置
- 主题传感器:Laser sensor(高精度激光检测)
- 驱动系统:内置?榛浇缁⑶奥龀宀
- 通讯接口:USB串口(支持急剧数据交互)
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5. 合用场景
- 半导体造作设备:晶圆传送前的预校准
- 检测设备:晶圆地位精确定位,确保检测正确性
- 自动化产线:集成于机械臂或传送系统,提升搬运效能
本设备选取 ?榛杓,可凭据客户需要定造检测规划,确保在半导体造作流程中提供不变、高效的晶圆预约位服务。